书目信息 |
| 题名： |
固体薄膜材料与制备技术
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| 作者： | 宁兆元 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2008 |
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| 页数： | 131页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TB383 ， TB43 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 薄膜--工程材料 , 薄膜技术 , 薄膜 , 工程材料 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-021206-1 | |
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| 210 | @a北京@c科学出版社@d2008 | |
| 215 | @a131页@d24cm | |
| 304 | @a编著者还有：江美福、辛煜、叶超 | |
| 330 | @a本书共分10章，内容包括：薄膜的特征、真空技术基础、等离子体技术基础、薄膜的物理气相沉积、化学气相沉积、膜厚和沉积速率的测量、低介电常数薄膜材料等。 | |
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| 固体薄膜材料与制备技术=Thin solid film materials and preparation technology/宁兆元[等]编著.-北京：科学出版社，2008 |
| 131页；24cm |
| ISBN 978-7-03-021206-1：CNY30.00 |
| 本书共分10章，内容包括：薄膜的特征、真空技术基础、等离子体技术基础、薄膜的物理气相沉积、化学气相沉积、膜厚和沉积速率的测量、低介电常数薄膜材料等。 |
| ● |
| 相关链接 |
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正题名：固体薄膜材料与制备技术
索取号：TB383/193
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 0585505 | 205855056 | 第二样本阅览室/ [索取号:TB383/193] | 在馆 | |
| 2 | 0585506 | 205855065 | 密集书库-生命科学系/ [索取号:TB383/193] | 在馆 | |
| 3 | 0585507 | 205855074 | 第三借阅区/ [索取号:TB383/193] | 在馆 | |
| 4 | 0585508 | 205855083 | 第三借阅区/ [索取号:TB383/193] | 在馆 | |
| 5 | 0585509 | 205855092 | 第三借阅区/ [索取号:TB383/193] | 在馆 |