书目信息 |
| 题名： |
等离子体放电与材料工艺原理
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| 作者： | 力伯曼 ， 里登伯格 著 ；蒲以康 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 电子工业出版社 2018.01 |
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| 页数： | 536页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | 经典译丛 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | O53 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 等离子体--放电 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-121-28022-1 | |
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| 等离子体放电与材料工艺原理=Principles of plasma discharges and materials processing/(美)Michael A. Lieberman，(美)Allan J. Lichtenberg著/蒲以康等译.-2版.-北京：电子工业出版社，2018.01 |
| 536页：图；26cm.-(经典译丛.微电子学) |
| ISBN 978-7-121-28022-1：CNY128.00 |
| 本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。 |
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正题名：等离子体放电与材料工艺原理
索取号：O53/11=2
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1123832 | 211238329 | 第二样本阅览室/ [索取号:O53/11=2] | 在馆 | |
| 2 | 1123833 | 211238338 | 第三借阅区/ [索取号:O53/11=2] | 在馆 | |
| 3 | 1123834 | 211238347 | 化学系资料室/ [索取号:O53/11=2] | 在馆 |