书目信息 |
| 题名: |
微纳米技术及其应用
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| 作者: | 李德胜 编著 | |
| 分册: | ||
| 出版信息: | 北京 科学出版社 2005 |
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| 页数: | 10,285页 | |
| 开本: | 24cm | |
| 丛书名: | ||
| 单 册: | ||
| 中图分类: | TB383 | |
| 科图分类: | ||
| 主题词: | 纳米材料--新技术应用 , 纳米材料 , 新技术应用 | |
| 电子资源: | ||
| ISBN: | 7-03-015288-3 | |
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| 微纳米技术及其应用/李德胜等编著.-北京:科学出版社,2005 |
| 10,285页;24cm |
| 863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版 北京工业大学“211工程”资助出版 |
| ISBN 7-03-015288-3(精装):CNY48.00 |
| 本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上,论述了MEMS基本理论基础,并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。 |
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正题名:微纳米技术及其应用
索取号:TB383/100
 
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