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书目信息

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题名:
微纳米技术及其应用
    
 
作者: 李德胜 编著
分册:  
出版信息: 北京   科学出版社  2005
页数: 10,285页
开本: 24cm
丛书名:
单 册:
中图分类: TB383
科图分类:
主题词: 纳米材料--新技术应用 , 纳米材料 , 新技术应用
电子资源:
ISBN: 7-03-015288-3
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    微纳米技术及其应用/李德胜等编著.-北京:科学出版社,2005
    10,285页;24cm
    863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版 北京工业大学“211工程”资助出版
    
    ISBN 7-03-015288-3(精装):CNY48.00
    本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上,论述了MEMS基本理论基础,并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。
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正题名:微纳米技术及其应用     索取号:TB383/100         预约/预借

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1 0381780   203817806   第二样本阅览室/ [索取号:TB383/100] 在馆    
2 0381781   203817815   第三借阅区/ [索取号:TB383/100] 在馆    
3 0381782   203817824   第三借阅区/ [索取号:TB383/100] 在馆    
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